??根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收管理辦法》、《關(guān)于規(guī)范建設(shè)單位自主開展建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收的通知（征求意見稿）》、《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收技術(shù)指南 污染影響類》等有關(guān)規(guī)定，建設(shè)單位于2024年09月06日組織驗(yàn)收組踏勘了建設(shè)項(xiàng)目現(xiàn)場，對驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告進(jìn)行了審查，提出了驗(yàn)收意見。為更好地做好本項(xiàng)目的環(huán)境保護(hù)工作，現(xiàn)對該項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收報(bào)告及驗(yàn)收意見進(jìn)行公示。

一、項(xiàng)目簡介

蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司（以下簡稱公司）成立于2018年3月，由蘇州長光華芯光電技術(shù)有限公司（以下簡稱長光華芯光電公司）與蘇州高新區(qū)政府共同創(chuàng)立，位于蘇州高新區(qū)科技城漓江路56號(hào)，主要進(jìn)行半導(dǎo)體光電器件及系統(tǒng)的開發(fā)研究及生產(chǎn)，包括薄膜外延生長、芯片加工、光電器件制作、光學(xué)模塊、光電系統(tǒng)集成。

半導(dǎo)體激光器是本項(xiàng)目產(chǎn)品之一，又稱激光二極管，是用半導(dǎo)體材料作為工作物質(zhì)的激光器。它體積小、壽命長，在激光通信、光存儲(chǔ)、光陀螺、激光打印、測距以及雷達(dá)等方面已經(jīng)獲得了廣泛的應(yīng)用。其工作原理是通過一定的激勵(lì)方式，在半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶（導(dǎo)帶與價(jià)帶）之間，或者半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶與雜質(zhì)（受主或施主）能級之間，實(shí)現(xiàn)非平衡載流子的粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，當(dāng)處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)的大量電子與空穴復(fù)合時(shí)便產(chǎn)生受激發(fā)射作用。高能激光發(fā)展的核心之一是半導(dǎo)體激光器，2017年半導(dǎo)體激光器中國市場收入較2016年增長15.5%，達(dá)到21.9億美元。中國作為全球最大制造國，我國芯片主要依賴國外進(jìn)口，特別是在高速光通訊、3D傳感等蓬勃發(fā)展的領(lǐng)域中。作為全球最大的消費(fèi)市場，我國對于芯片產(chǎn)業(yè)有各種不同的需求，對于低端芯片需求量也非常大，芯片的進(jìn)口嚴(yán)重阻礙了我國的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在當(dāng)下科技競爭的背景下，發(fā)展芯片產(chǎn)業(yè)具有一定的緊迫性，過程會(huì)很曲折，但是只有將核“芯”技術(shù)掌握在自己手中才是硬道理。為了解決我國高功率半導(dǎo)體激光器芯片及器件的“空心化”問題，公司利用蘇州長光華芯光電技術(shù)有限公司已有的高功率半導(dǎo)體激光芯片優(yōu)勢，積極向激光3D傳感芯片，高速光通信芯片、激光照明等方向與領(lǐng)域拓展，全面打造中國激光芯。因此，蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司投資20000萬元建設(shè)年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目。

環(huán)評審批過程：本項(xiàng)目投資20000萬元進(jìn)行年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目建設(shè)。項(xiàng)目已通過蘇州高新區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)展和改革局備案，項(xiàng)目代碼為2018-320505-39-03-550372。2019年11月，企業(yè)委托蘇州市宏宇環(huán)境科技股份有限公司編制了《蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》，并于2020年2月4日取得蘇州市行政審批局的審批意見（蘇行審環(huán)評[2020]90054號(hào)）。

驗(yàn)收工作的開展：2024年7月17日-18日、8月7日-8日和8月26日-27日，公司委托蘇州環(huán)優(yōu)檢測有限公司及江蘇德昊檢測技術(shù)服務(wù)有限公司對“蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目”進(jìn)行驗(yàn)收監(jiān)測，根據(jù)驗(yàn)收監(jiān)測結(jié)果及現(xiàn)場情況進(jìn)行自主驗(yàn)收，由蘇州市宏宇環(huán)境科技股份有限公司編制驗(yàn)收調(diào)查報(bào)告。

變動(dòng)情況：對照環(huán)評，本項(xiàng)目驗(yàn)收氮?dú)夤駭?shù)量較環(huán)評增加6臺(tái)，光刻、濕法刻蝕工段各式測試儀數(shù)量較環(huán)評增加7臺(tái)，以上均為輔助設(shè)備：此外，在生產(chǎn)工藝無變化的前提下，襯底原料用5kg氮化鎵替代砷化鎵，濕法刻蝕工段使用環(huán)評未涉及的氫氧化銨；

環(huán)評中外延工序產(chǎn)生少量未反應(yīng)氣體（磷烷、砷烷、硅烷、氨氣）和反應(yīng)生成氣體（甲烷、顆粒物）通過設(shè)備配套過濾器處理后，經(jīng)管道輸送至洗滌塔一級處理（其中氨氣為堿性，單獨(dú)進(jìn)入氨氣洗滌塔），再進(jìn)入堿液噴淋塔二級處理，最后經(jīng)2#生產(chǎn)樓屋頂?shù)?/span>25米排氣筒P1排放；

項(xiàng)目實(shí)際從安全角度考慮，2臺(tái)以氮化鎵襯底原料、氨氣為反應(yīng)氣體的外延工序廢氣經(jīng)水噴淋預(yù)處理，和酸性廢氣以及設(shè)備自帶過濾器-燃燒器預(yù)處理的外延工段少量未反應(yīng)完的硅烷氣體（磷烷、砷烷、硅烷、氨氣）和反應(yīng)生成氣體（甲烷、顆粒物）一同匯入堿液噴淋塔裝置處理，尾氣由2#生產(chǎn)樓屋頂?shù)?/span>25米排氣筒P1排放；其余16臺(tái)化學(xué)氣相外延MOCVD設(shè)備中每4臺(tái)設(shè)備對應(yīng)一套二級加藥噴淋裝置（加入次氯酸鈉、氫氧化鈉、磷酸藥劑）（共設(shè)置5套，4用1備）處理后通過4根25米高排氣筒排放（P3、P4、P5、P6，此外P7為備用處理設(shè)施對應(yīng)排氣筒），且設(shè)置砷烷、磷烷排放在線監(jiān)控報(bào)警系統(tǒng)；使用砷烷、磷烷的外延廢氣經(jīng)管道輸送至洗滌塔和二級加藥噴淋裝置處理，尾氣由2#生產(chǎn)樓屋頂?shù)?/span>25米排氣筒P3、P4、P5、P6排放；

此外，項(xiàng)目實(shí)際對危廢中代碼有誤（有機(jī)廢液）、代碼變更（廢氣處理失效活性炭）、產(chǎn)生量有偏差（刻蝕廢液）、定義有誤（光催化UV燈管）、遺漏（氫氧化銨廢堿液）等問題一并進(jìn)行變動(dòng)修正。

公司于2023年12月委托蘇州市宏宇環(huán)境科技股份有限公司編制《蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目一般變動(dòng)環(huán)境影響分析報(bào)告》，并對廢氣處理設(shè)施的變更進(jìn)行了專家評審，對照《污染物影響類建設(shè)項(xiàng)目重大變動(dòng)清單（試行）》（環(huán)辦環(huán)評函〔2020〕688號(hào)），明確以上不屬于重大變動(dòng)，納入驗(yàn)收范圍。

（1）廢水

公司廠區(qū)雨污水分流，項(xiàng)目生產(chǎn)廢水主要為一般酸堿廢水、含砷廢水、含砷拋光廢水、含砷研磨廢水、含氟廢水、含氮磷廢水、有機(jī)廢水、公輔廢水以及生活污水，其中：

一般酸堿廢水經(jīng)中和預(yù)處理后，同公輔廢水（制純濃水、冷卻排水）、食堂廢水（經(jīng)隔油預(yù)處理）和生活污水一并通過市政管網(wǎng)接入科技城水質(zhì)凈化廠統(tǒng)一處理，尾水排入滸東運(yùn)河；

含氟廢水（包括堿液噴淋廢水）經(jīng)化學(xué)沉淀-砂濾-樹脂交換預(yù)處理；有機(jī)廢水和含氮廢水經(jīng)高級氧化-生物反應(yīng)槽預(yù)處理；含砷研磨廢水經(jīng)超濾和砂濾預(yù)處理后與經(jīng)超濾和RO處理后的含砷拋光廢水一并進(jìn)入化學(xué)沉淀預(yù)處理；其他含砷廢水和含氮磷廢水經(jīng)化學(xué)沉淀預(yù)處理；以上預(yù)處理后的廢水合并進(jìn)入三效蒸發(fā)系統(tǒng)處理，出水經(jīng)RO后回用生產(chǎn)系統(tǒng)（純水制備），無外排；濃水委外處理；

公司設(shè)置900m3的消防尾水池（事故應(yīng)急水池），并在兩個(gè)雨水排口設(shè)置應(yīng)急截止閥門。

（2）廢氣

本項(xiàng)目硅烷外延尾氣經(jīng)過濾+燃燒器+堿液噴淋塔預(yù)處理；酸洗、刻蝕等工段酸性廢氣由2套并聯(lián)堿液噴淋塔預(yù)處理；氧化尾氣由設(shè)備密閉收集后進(jìn)入設(shè)備自帶過濾器+燃燒器預(yù)處理，以上預(yù)處理后的廢氣合并由25m高的P1排氣筒排放；

有機(jī)廢氣集氣罩收集后，經(jīng)2套光催化氧化+活性炭吸附裝置處理（1用1備），尾氣由25m高的P2排氣筒排放；

砷烷、磷烷使用工序產(chǎn)生的廢氣由設(shè)備密閉收集，經(jīng)五套（四用一備）過濾+二級加藥噴淋裝置處理后，分別通過25m高的P3、P4、P5、P6、P7（備用）排氣筒達(dá)標(biāo)排放；

以上環(huán)節(jié)未收集到的廢氣車間無組織外排。封裝、回流工段產(chǎn)生的焊接煙塵采用集氣罩收集后經(jīng)焊煙凈化器處理后無組織排放，產(chǎn)生量較少，忽略不計(jì)。

項(xiàng)目以廠界邊界為起點(diǎn)設(shè)置100米衛(wèi)生防護(hù)距離，目前以上范圍內(nèi)無居民等環(huán)境敏感點(diǎn)。

此外，項(xiàng)目設(shè)置3個(gè)25m排氣筒用于車間內(nèi)強(qiáng)排風(fēng)及熱排風(fēng)；食堂油煙經(jīng)油煙凈化器處理后屋頂外排。

（3）噪聲

本項(xiàng)目噪聲主要為各類研磨、焊接、切割、打磨等設(shè)備和空壓機(jī)、廢氣處理風(fēng)機(jī)等運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲，企業(yè)通過隔聲、減振和距離衰減等措施，噪聲可以得到一定程度的削弱，減小對周圍的環(huán)境影響。

（4）固體廢棄物

本項(xiàng)目產(chǎn)生的固體廢物主要為危險(xiǎn)固廢、一般工業(yè)固廢、生活垃圾。其中：

危險(xiǎn)廢物中的廢去光膠劑、廢去光膠劑、廢顯影液、酸洗廢液、有機(jī)廢液委托蘇州新區(qū)環(huán)保服務(wù)中心有限公司處置；廢燈管、刻蝕廢液委托蘇州步陽環(huán)?？萍加邢薰咎幹?；刻蝕槽清洗廢液、碳化涂層、廢濾芯、晶圓邊角料、無塵布、危險(xiǎn)廢物包裝、廢活性炭、含氟污泥、含砷污泥、廢鹽渣、廢濾膜、廢反滲透膜、廢堿液、在線監(jiān)測廢液委托蘇州新區(qū)環(huán)保服務(wù)中心有限公司處置；

項(xiàng)目設(shè)置面積30m2的危廢倉庫，位于廠區(qū)東南角，建設(shè)符合《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB18597-2023）的要求。

一般工業(yè)固廢主要為廢金屬靶材、殘余鍍料、殘余鍍料、不合格品、一般廢包裝，收集后定期委托州鑫雨豐環(huán)?？萍加邢薰揪C合利用。

項(xiàng)目設(shè)置面積100m²的一般固廢倉庫，位于廠區(qū)東北角，一般工業(yè)固體廢物貯存基本滿足《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋標(biāo)準(zhǔn)》（GB 18599-2020）。

項(xiàng)目生活垃圾、餐廚垃圾由蘇州鑫雨豐環(huán)?？萍加邢薰臼占膺\(yùn)處理，日產(chǎn)日清。

二、建設(shè)單位名稱和聯(lián)系方式

建設(shè)單位：蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司

建設(shè)地點(diǎn)：蘇州高新區(qū)科技城漓江路56號(hào)

聯(lián)系人：韋工

聯(lián)系電話：17312540120

郵編：215299

三、征求公眾意見的主要事項(xiàng)

（1）請公眾提供個(gè)人準(zhǔn)確信息主要包括：姓名、職業(yè)、文化程度、家庭住址及聯(lián)系電話；

（2）根據(jù)您掌握的情況，認(rèn)為該項(xiàng)目運(yùn)營對環(huán)境質(zhì)量造成的危害/影響方面及程度；

（3）您是否知道/了解在該地區(qū)建設(shè)該項(xiàng)目；

（4）您認(rèn)為該項(xiàng)目對環(huán)境造成的危害/影響程度；

（5）您對該項(xiàng)目環(huán)保方面有何建議和要求；

（6）從環(huán)保角度出發(fā)，您對該項(xiàng)目持何種態(tài)度，并簡要說明原因。

四、公眾提出意見的主要方式

????公眾可以通過以下方式提供意見：

（1）通過Email方式

（2）直接打電話的方式

（3）寫信的方式

五、公示時(shí)間

公眾可在本項(xiàng)目公示之日起20個(gè)工作日內(nèi)，向建設(shè)單位或驗(yàn)收調(diào)查機(jī)構(gòu)提出寶貴意見。

《蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收調(diào)查表》公示期：2024年9月9日—2024年10月11日

驗(yàn)收公示-蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司年產(chǎn)芯片3億件、光電器件100萬件、光學(xué)模塊5萬件、光電系統(tǒng)1000臺(tái)項(xiàng)目.pdf

蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院有限公司-驗(yàn)收意見.pdf

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